主要特点
车规级芯片的气密封装检测、功率模块（如IGBT、SiC）的密封性验证、MEMS传感器封装泄漏测试、其他要求高可靠性的电子元器件检漏。
规格参数
| 保压能力 | 最大0.5MPa高压氦气浸泡保压24小时无泄漏 |
| 核心灵敏度 | 5*10-13pa·m3/s |
| 抽气速率 | 35m3/h |
| 最大测试口压力 | 13mbar |
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