主要特点
主要用于集成电路，先进封装等领域，晶圆完成制程后剥离。解离过程简单，玻璃载片可回收再利用。
规格参数
| UV灯管 | 250mm |
| 照射能量 | 12000mJ/cm2 |
| 极限真空度 | 100Pa |
| 产能/WPH | 8 |
博纳半导体——砥砺创芯，团结奋发
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主要用于集成电路，先进封装等领域，晶圆完成制程后剥离。解离过程简单，玻璃载片可回收再利用。
| UV灯管 | 250mm |
| 照射能量 | 12000mJ/cm2 |
| 极限真空度 | 100Pa |
| 产能/WPH | 8 |